我國(guó)建成首條光刻用石英玻璃基板成套生產(chǎn)線

發(fā)布日期：2016-06-16來(lái)源：中國(guó)建筑材料集團(tuán)公司編輯：賈愛萍

[摘要]

　　近日，中國(guó)建材集團(tuán)所屬中國(guó)建材總院基于光刻用石英玻璃基板綠色制造技術(shù)，在衢州建成了國(guó)內(nèi)首條從基板原材料制造到產(chǎn)品加工的成套生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線可年產(chǎn)20000片4-6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產(chǎn)品長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的局面。

　　該生產(chǎn)線的建立，是中國(guó)建材總院承擔(dān)的“十二五”國(guó)家科技支撐計(jì)劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及示范”課題的成果之一。石英玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件，市場(chǎng)需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有熱穩(wěn)定性好、光學(xué)均勻性高、耐輻照等諸多優(yōu)點(diǎn)。然而，受原材料純度、均勻性及加工精度、硬脆特性等制約，我國(guó)石英玻璃基板長(zhǎng)期依賴進(jìn)口。

　　經(jīng)過中國(guó)建材總院科研人員的不懈努力，最終形成了一套符合我國(guó)行業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)的獨(dú)有工藝路線，不但解決了石英玻璃基板原材料的純度、均勻性難題，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了原材料綠色制造。該項(xiàng)目還引入多刀切割、安全快速磨拋工藝，創(chuàng)造性地開發(fā)了熔拉制坯、數(shù)控倒角等技術(shù)，解決了石英玻璃基板加工精度的難題。從基板原材料制造到產(chǎn)品加工，中國(guó)建材總院形成專利20余項(xiàng)，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)軍標(biāo)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)10余項(xiàng)，開發(fā)出了多種規(guī)格的石英玻璃基板、晶圓、透鏡等系列產(chǎn)品，不僅逐步替代進(jìn)口產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了高性能石英玻璃關(guān)鍵材料及制品的國(guó)產(chǎn)化，而且還出口到歐洲、日本等國(guó)。

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